型 號 | JL-VMS05 | ||
等離子源系統 | 頻 率 | 13.65MHz 射頻 | |
功 率 | 300W （連續可調，精度為1W） | ||
真空系統 | 真空腔體 | 材質 | 石英 |
腔體內部尺寸(MM) | D155*260（直徑*深度) | ||
腔體容積 | 5 L | ||
密封性 | 軍工級焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵 | |
處理溫度 | ＜60°C | ||
流量計 | 0-500ml/min | ||
氣路控制 | 標配2路(可定制) | ||
真空度 | 5Pa --30Pa | ||
工藝氣體 | Ar、N?、CF?、O?、H?等（可選） | ||
控制系統 | 1、PLC 自動控制； | ||
2、4.3寸觸摸屏,圖形用戶界面； | |||
3、配方程序為 0~99； | |||
4、多級權限操作； | |||
5、圖形化曲線圖自動監測工藝參數狀態及錯誤信息； | |||
6、存儲工藝數據及錯誤信息； | |||
7、報警信息提示及追溯； | |||
8、圖形化界面檢測處理參數； | |||
9、自動、手動操作可切換； | |||
10、維護提示緊急停止按鈕； | |||
11、門感應器和真空互鎖； | |||
12、機器運行信號指示； | |||
13、機器運行結束提示； | |||
外觀參數 | 外形尺寸(MM) | 650*420*480(寬*高*深） | |
重 量 | 55KG | ||
設施配置 | 電 力 | 單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設計規范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規范》等國標標準相關規定。 | |
壓縮空氣 | 無 | ||
其 它 | 提供操作手冊、維護手冊、安裝手冊，易損件備件清單. | ||
